Download e-book for iPad: Mikrosystementwurf: Entwurf und Simulation von Mikrosystemen by Manfred Kasper

By Manfred Kasper

ISBN-10: 3540664971

ISBN-13: 9783540664970

ISBN-10: 3642571239

ISBN-13: 9783642571237

Dieses Buch vereint die wesentlichen Aspekte zum erfolgreichen Entwurf von Mikrosystemen und gibt eine geschlossene Darstellung der Grundlagen, Entwurfsmethoden, Simulationsverfahren, Anwendungen und Technologien. Bei diesem Werk steht der Entwurf im Vordergrund, insbesondere die sich aus der Miniaturisierung ergebenden Konsequenzen im Entwurf von Mikrosystemen, da die physikalischen Eigenschaften bei einer Maßstabänderung nicht gleich bleiben. Besondere Beachtung finden die Zusammenhänge und Analogien der elektrischen, mechanischen, thermischen, fluidischen und optischen Funktionselemente, da diese Komplexität leicht unüberschaubar wird.

Show description

Read or Download Mikrosystementwurf: Entwurf und Simulation von Mikrosystemen PDF

Best german_4 books

Download e-book for iPad: EMV: Störungssicherer Aufbau elektronischer Schaltungen by Joachim Franz

Dieses Buch stellt erstmalig eine Methodik für die examine und die Lösung der EMV-Problematik vor. Sie basiert auf einer eingehenden Betrachtung der Koppelmechanismen und auf der vom Verfasser entwickelten "Stromanalyse". Damit kann die Entwicklung elektronischer Produkte preiswerter, deutlich schneller und mit wesentlich besseren EMV-Eigenschaften realisiert werden.

Get Das Kabel im Brückenbau PDF

Dieser Buchtitel ist Teil des Digitalisierungsprojekts Springer booklet information mit Publikationen, die seit den Anfängen des Verlags von 1842 erschienen sind. Der Verlag stellt mit diesem Archiv Quellen für die historische wie auch die disziplingeschichtliche Forschung zur Verfügung, die jeweils im historischen Kontext betrachtet werden müssen.

Extra resources for Mikrosystementwurf: Entwurf und Simulation von Mikrosystemen

Sample text

10 ausgenutzt. Andererseits dient der Zusammenhang dazu, urn mit Fa = 1 eine Wiirmediffusionslange U = A t / (c p p) zu bestimmen, innerhalb der die Temperatur als homogen angenommen werden kann. 44 ) Die Froude-Zahl hat Bedeutung fUr aIle dynamischen Bewegungsvorgange im Sehwerefeld. 5 Skalierung, Ahnlichkeit und Kennzahlen 23 Abb. 11. Guilliver im Land der Liliputaner. 9). Schwerkraft (Gewichtskraft), in Abhangigkeit der Geschwindigkeit v, der Erdbeschleunigung g und des LangenmaBstabs L. Bei groBeren Froude-Zahlen ist der EinfluB der Schwerkraft vernachlassigbar, wahrend bei kleinen FroudeZahlen die Tragheitskrafte zu vernachlassigen sind.

Fur eine Oxidschichtdicke von 100 nm werden 44 nm Silizium oxidiert, was sich aus dem Verhaltnis der Molekulargewichte der beiden Stoffe ergibt (Abb. 2). Da der Sauerstoff durch die wachsende Oxidschicht diffundieren muB, bevor es unpriinglicbe Substratoberfllche Si-Substnrt Abb. 2. Schichtwachsturn bei der thermischen Oxidation yon Siliziurn. 3Schichtabscheidung 41 Abb. 3. Aufwolben der Oxidmaskierung (Dicke 3,5 flm) aufgrund intrinsischer Spannungen nach Unteratzung in einem PlasmaprozeB [4].

Die Fliege ist durch die Evolution in ihren Hihigkeiten an ihre KorpergroBe angepaBt. Auch die Zusammenhange, die sich eigentlich relativ leicht aus den physikalischen Gesetzen ableiten lassen, konnen uns verborgen bleiben, da wir kein Geflihl flir kleine Dinge haben. Der Mensch unterscheidet sich von den groBten Lebewesen nur urn etwa eine Zehnerpotenz, wahrend die kleinsten Lebewesen urn ca. 7 Zehnerpotenzen kleiner sind. Un sere Lebensgewohnheiten und unser Geflihl flir das physikalische Verhalten von Objekten und Vorgangen orientiert sich am MakromaBstab, uns fehlt daher die Intuition flir das Verhalten im MikromaBstab.

Download PDF sample

Mikrosystementwurf: Entwurf und Simulation von Mikrosystemen by Manfred Kasper


by Joseph
4.4

Rated 4.10 of 5 – based on 10 votes